近年来以硅作为基础材料的微电子行业得到迅猛   发展，微电子集成电路技术的发展依赖于硅晶圆片半导体材料的表面质量，有研究表明有一半的硅晶半导体芯片的损失并不是因为制造技术不先进，而是由于硅晶圆半导体的表面被污染，为了最大限度降低杂质对芯片良品率的影响，包括CMP、清洗、刻蚀、电镀等加工工艺在内所涉及的液体全部要求纯净、无杂质，且部分场景对流量控制精度也有较高要求。除了微电子中的半导体行业外，例如太阳能电池、平板显示器等生产过程中都有对超洁净泵的需求。

       PT-BPS系列产品专为微电子领域中流体的超纯处理过程而设计，采用磁悬浮无轴承电机技术实现了悬浮驱动一体化，取代了传统电机及机械轴承，运动部件相互之间没有机械摩擦，避免了对输送物质的污染。泵壳、转子、密封圈等过流部件均由耐化学腐蚀的氟树脂制成。流体的流速和压力可以精确控制。其独特的优势可助力微电子加工工艺达到一个新的高度。

方案优势

超洁净：转子悬浮，没有摩擦，不产生颗粒，过流面积小，低析出，确保液体的纯度；

低剪切力：无窄缝隙及死区间，适合浆料和电镀液运输；

无脉动：离心泵送原理，流量压力输出稳定；

宽流量范围和高可控制；

可靠性高：无轴承磨损和无密封损坏，使用寿命长和维护成本低；

高调低比：从几ml /min到大流速都可以保持平稳；

体积小、噪音低、震动低；

流量自动维持：集成的流量和压力传感器，形成反馈回路，自动维持流量。