芯片振兴 装备先行

2024年9月27日，备受瞩目的第12届半导体设备年会&CSEAC 2024展示会在无锡圆满闭幕。本届展示会汇聚了业界众多的优质企业，创新成果与尖端产品交相辉映。槃实科技受邀参与，并展示了全系列磁悬浮无轴承泵产品。

展会现场 人潮涌动

依托磁悬浮全栈技术自主开发平台，槃实科技在展会期间推出了以PT-BPS-4000为代表的多款大功率磁悬浮无轴承泵产品，在业内率先实现了该系列产品的量产和批量应用。现场的动态运行展示得到了业内人士的高度关注和肯定。

超洁净领域终极武器

PT-BPS系列磁悬浮无轴承泵产品是槃实科技专为微电子领域中流体的超纯处理过程而设计。目前已覆盖了从200W到4000W全系列产品，体现了槃实科技在技术创新上的不懈追求，也展示了公司打破国际垄断，推动半导体核心零部件国产替代的决心和毅力。

磁悬浮无轴承泵采用了磁悬浮无轴承电机技术，实现了悬浮驱动一体化，取代了传统电机及机械轴承，运动部件相互之间没有机械摩擦，不会产生颗粒，从而避免了对输送物质的污染，成为超洁净领域流体泵送工艺的最优解，已得了行业专家的普遍认可。

在半导体湿法制程领域：湿法清洗、湿法刻蚀、电镀、CMP、批量化学输送等工艺环节得了广泛的应用。