“芯”中有“算”• 智享未来

6月28日，为期3天的SEMI-e第六届深圳国际半导体展圆满收官！本届展会以“芯”中有“算”•智享未来为主题，全面展示半导体行业的新技术、新产品、新亮点、新趋势。槃实科技携泛半导体领域应用的全系列磁悬浮无轴承泵产品亮相深圳国际会展中心。

磁悬浮无轴承泵 超洁净领域的终级武器

随着半导体行业技术的不断更新迭代和先进制程的快速发展，对相关工艺过程提出更高的洁净要求。

槃实科技研发的PT-BPS系列磁悬浮无轴承泵是将磁悬浮技术应用在离心泵上的一种新产品。其利用磁悬浮方案代替传统机械轴承和传动，实现转子与泵壳完全无接触地高速旋转，避免碎屑、金属颗粒物的生成，确保泵送液体的纯度，完全满足芯片制程工艺的超洁净需求。

直击现场•人潮涌动不息

本届展会，槃实科技展出了最新的技术研发成果，多款大功率磁悬浮无轴承泵产品均为首次亮相，现场吸引了众多业内人士、专家和企业的关注。

磁悬浮泵是一项被国际厂家垄断的“卡脖子”技术， 其无摩擦、超洁净、无脉动和低剪切力的特性， 在泛半导体领域： 湿制程清洗、电镀、CMP、湿法刻蚀、光伏制绒清洗、批量化学品输送等场景均拥有广泛的应用。