助力产业创新·共建自主产业生态

5月24日，第26届集成电路制造年会暨供应链创新发展大会(CICD)在广州黄埔区知识城国际会展中心闭幕！中国半导体行业精英领袖以及来自国内外的集成电路专家、企业家、产业链企业代表、科研院所、高校和媒体代表等，共3000余人参加了本次大会。

作为一家专注于磁悬浮技术在工业、尤其在泛半导体、生物医学和智能制造领域的应用的高新技术企业，槃实科技携半导体领域应用的磁悬浮无轴承泵和流体演示系统等核心技术成果重磅亮相现场。

超洁净领域终极武器

本次大会，槃实科技重点演示了磁悬浮无轴承泵流体系统，与众多集成电路行业专家进行深入且富有成效的交流。

磁悬浮无轴承泵是一款被国外企业垄断的“卡脖子”产品。现场，大家对于槃实科技攻克了该项技术难题表示赞赏，同时对磁悬浮无轴承泵技术在微电子领域的应用前景非常看好。

磁悬浮无轴承泵 无摩擦、超洁净、无脉动和高可靠性的特点，在微电子领域拥有广泛的应用场景：

槃实科技PT-BPS系列产品专为微电子领域中流体的超纯处理过程而设计。采用磁悬浮无轴承电机技术实现了悬浮驱动一体化，取代了传统电机及机械轴承，运动部件相互之间没有机械摩擦，不会产生颗粒，避免了对输送物质的污染。泵壳、转子等过流部件均由耐化学腐蚀的超纯氟树脂制成；流体的流量和压力可以精确控制。其独特的优势将助力微电子加工工艺达到一个新的高度。